株式会社エレクトロニカ IMT事業部 株式会社エレクトロニカ IMT事業部

APP EXAMPLEアプリケーション例

2022.08.22

設備診断

半導体製造装置、ポンプ、モータなどの振動評価

半導体製造装置、或いは、ポンプ・モータなどの機器の定常状態の把握とメンテナンス等を適切に行うために、振動、AE(表面弾性波)を測定することが有効です。
AEの測定の応用例としては、リチュウムイオン電池の劣化の監視等があります。
上記信号の他に、必要に応じて、制御部からの制御信号等のデジタル信号も同時に測定する必要も出てきます。digitizerNETBOXは、8~16チャネルのアナログ入力と、最大11チャネルのデジタル入力の同時多点測定が可能です。
・振動:歪ゲージを使用して測定
・表面弾性波をAEセンサを使用して測定
・digitizerNETBOXを使用して、多チャネル・同時測定
・回転パルス:必要に応じてデジタル信号を計測

使用するデジタイザの例
digitizerNETBOX DN2.591-16
 アナログ入力
 16チャネル, 5 MS/s, 16ビット, 2.5 MHz, 512 Msamples
 デジタル入力:11チャネル
 SBench6-Pro
設備診断